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  • OYS-1200C-II-60-PECVD滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng)
    OYS-1200C-II-60-PECVD是一款中型滑動(dòng)開啟式PECVD系統(tǒng)。此款成套設(shè)備配有等離子射頻電源,三路質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)(量程為1-100SCCM, 1-200SCCM,1-200SCCM),直徑為60mm的開啟式管式爐(帶真空法蘭和連接管道)及機(jī)械泵組成。
    更新時(shí)間:2025-01-08型號(hào):OYS-1200C-II-60-PECVD廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    現(xiàn)在聯(lián)系
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