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  • OYS-1200C-II-60-PECVD滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng)
    OYS-1200C-II-60-PECVD是一款中型滑動(dòng)開啟式PECVD系統(tǒng)。此款成套設(shè)備配有等離子射頻電源，三路質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)（量程為1-100SCCM， 1-200SCCM，1-200SCCM），直徑為60mm的開啟式管式爐（帶真空法蘭和連接管道）及機(jī)械泵組成。
    更新時(shí)間：2025-01-08型號(hào)：OYS-1200C-II-60-PECVD廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
    現(xiàn)在聯(lián)系
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